TFX4000E

TFX4000E———光学膜厚测量设备


l 可量测多种材料薄膜

l 提供薄膜可靠和精确的厚度、折射率、成分比率和应力测量

l 输出产能高,具有较高的性价比

l 可量测范围更宽广,超厚膜和超薄膜量测能力更稳定

l 全新椭圆偏振光路设计

l 机械运动性能可靠,稳定性表现卓越

l 功能丰富、易用的软件和算法

l 全面支持工厂自动化要求